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Nikon新开发的高精度、高速量测及高NA的CNC影像量测仪VMZ-R Series,不只在精度上再升级,在Z轴的量测高度上也做了提升,让产品的量测拥有更高的多元性。
新雷射系统
除原有影像对焦及雷射对焦、扫描等功能,新的雷射传感器也可量测膜的表面及底部,进而测量膜厚。
创新光源设计
表面光、底部光及环型光皆采用LED的设计,光源更稳定且寿命更长。
环形光源有三种不同照射角度且八方向的设计,让边界的量测更加简易。
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