0592-4210315

型號

CV-3200S4

CV-3200H4

CV-3200W4

CV-3200S8

CV-3200H8

CV-3200W8

CV-4500S4

CV-4500H4

CV-4500W4

CV-4500S8

CV-4500H8

CV-4500W8

測定範圍

X 軸

100mm

200mm

Z1 軸

( 檢出部 )

Z2 軸 ( 立柱 ) 移動範圍   

300mm

500mm

300mm

500mm

檢出器
(Z1 軸：

檢出部 )

測長裝置

圓弧光學尺

解析度

CV-3200系列：0.04 µm、CV-4500系列：0.02 µm

測針上下作動

圓弧運動

測定方向

拉、壓兩種方向

測定面方向

CV-3200系列：上下兩種方向 ( 單獨測定）

CV-4500系列：上下兩種方向 ( 可上下面連續測定）

測定力

CV-3200 測定力系列：30mN（依重量調整）

CV-4500系列：10,20,30,40,50mN（用軟體作切換）

測針追蹤角度

上升 77°、下降 83°

（使用標準附屬品的片角測針時※1。

依其表面性質而定。）

驅動部

測長裝置

X 軸

Ｘ軸 分離式線性規

Z2 軸

（立柱）

ABS 光學尺

解析度

X 軸

0.05 µm

Z2 軸

（立柱）

1 µm

驅動速度

X 軸

0 ∼ 80 mm/s 及手動操作

Z2 軸

（立柱）

0 ∼ 30 mm/s 及手動操作

測定速度

X 軸

0.02 ∼ 5mm/s

真直度 ※2

X 軸

0.8 µm/100mm

2 µm/200mm

傾斜角度

X 軸

±45°

指示精度
（20℃）

CV-3200

系列

X 軸

±(0.8 ＋ 0.01L)µm

L ＝驅動長度 (mm)

廣範圍：1.8 µm/100mm
狹範圍：1.05 µm/ 25mm

±(0.8 ＋ 0.02L)µm

L ＝驅動長度 (mm)

廣範圍：4.8 µm/200mm
狹範圍：1.3 µm/ 25mm

Z1 軸

( 檢出部 )

±（1.6＋｜2H｜/100）µm H＝ 從水平位置測定的高度（mm）

CV-4500

系列

X 軸

±(0.8 ＋ 0.01L)µm

L ＝驅動長度 (mm)

廣範圍：1.8 µm/100mm
狹範圍：1.05 µm/ 25mm

±(0.8 ＋ 0.02L)µm

L ＝驅動長度 (mm)

廣範圍：4.8 µm/200mm
狹範圍：1.3 µm/ 25mm

Z1 軸

( 檢出部 )

±（0.8＋｜2H｜/100）µm H＝ Z1 軸（檢出部）

從水平位置測定的高度（mm）

外觀尺寸

（W×D×H）

本體※3

756×482×

966 mm

756×482

×1166 mm

1156×482

×1176 mm

766×482

×966 mm

766×482

×1166 mm

1166×482

×1176 mm

控制箱

221×344×490 mm

搖桿

248×102×62.2 mm

重 量

本體

140kg

150kg

220kg

140kg

150kg

220kg

控制箱

14 kg

搖桿

0.9kg

操作溫度範圍

15∼25℃(校正時與測定時溫度變化在±1℃以內)

操作濕度範圍

20 ∼ 80% RH( 必須在沒有結露的狀態 )

設置環境溫度範圍

- 10∼50℃

設置環境濕度範圍

5∼90% RH (必須在沒有結露的狀態)

※1：SPH-71（No.354884）
※2：X軸水平姿勢時
※3：本體的基本材質為花崗岩