機型 | RA-1600 | ||
三豐型號 | 211-723 | ||
轉台 | 迴轉精度 | 徑向 | (0.02+6H/10000)μm |
軸向 | (0.02+6X/10000)μm | ||
迴轉速度 | 4、6、10 rpm | ||
工作台有效直徑 | ψ150mm | ||
中心/水平調整 | D.A.T | ||
最大量測直徑 | ψ280mm | ||
最大工件直徑 | ψ560mm | ||
Z軸立柱 | 驅動直線度 | 窄範圍 | 0.20μm / 100mm |
寬範圍 | 0.30μm / 300mm | ||
轉台軸平行度 | 1.5μm / 300mm | ||
最大檢測高度 | 300mm | ||
X軸臂 | 移動量 | 165mm(可從工作台軸移動至-25mm) | |
檢出器 | 測定力 | 10~50mN (5段) | |
量測範圍 | 標準 | ±400μm / ±4μm / ±4μm | |
追蹤 | ±5mm | ||
針尖形狀.材質 | ψ1.6mm 超硬球 | ||
其他 | 電壓 | 100 V - 240 V | |
主機淨重 | 170kg |